Получение сверхчистых материалов для микроэлектроники - Наука и техника
Ключевые слова: Описаны требования микроэлектроники к полупроводниковым материалам и способы получения.
Тип файла: HTML
Тип документа: доклады
Язык: русский
Добавлен: 18.7.2000
Размер: 14418 байт Скачать Смотреть