Распределение примесей в кремнии - Наука и техника
Ключевые слова: Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла.
Тип файла: HTML
Тип документа: рефераты
Язык: русский
Добавлен: 30.10.2000
Размер: 32806 байт Скачать Смотреть