Ключевые слова: Процессы окисления кремния в парах воды и в сухом кислороде, свойства плазменных окислов кремния, особенности получения тонких пленок, полупроводниковые резисторы.
Тип файла: HTML
Тип документа: рефераты
Язык: русский
Добавлен: 20.10.2000
Размер: 44245 байт Скачать Смотреть
www.Referatik.Ru - Дипломы, Курсовые и Рефераты на Заказ ! Тел 772-34-33
