Ключевые слова: Основными методами нанесения тонких пленок в технологии ГИМС являются: термическое испарение в вакууме, катодное, ионно-плазменное и магнетронное распыления.
Тип файла: HTML
Тип документа: рефераты
Язык: русский
Добавлен: 18.10.2000
Размер: 14542 байт Скачать Смотреть
www.Referatik.Ru - Дипломы, Курсовые и Рефераты на Заказ ! Тел 772-34-33
